[发明专利]一种带裙齿的微半球陀螺仪谐振结构加工方法及装置有效
| 申请号： | 202310980037.4 | 申请日： | 2023-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN116690199B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 虢晓双;隆祖亿;周军雷;刘卓;赵文达;沈婷;李靖;杨有清 | 申请（专利权）人： | 湖南天羿领航科技有限公司 |
| 主分类号： | B23P23/00 | 分类号： | B23P23/00;B23P15/00;G01C25/00;C23F1/02 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种带裙齿的微半球陀螺仪谐振结构加工方法及装置，本发明的加工方法包括在谐振结构上利用飞秒激光按照给定间距点击加工出裙齿的轮廓点阵列；将谐振结构在腐蚀槽中进行超声化学刻蚀将裙齿的结构完全释放出来；本发明的装置包括激光加工单元和用于固定谐振结构的治具组件，包括用于对谐振结构激光加工的贴片工装以及用于腐蚀作业的腐蚀夹具。本发明能够有效避免传统激光直接切割产生的微裂纹等表面损伤问题，改善微半球陀螺仪Q值、阻尼均匀性；具有整体结构加工对称性更好、可批量加工处理的优点，可有效解决激光切割垂直加工较难问题，实现垂直成型加工，可进一步缩小加工间隙，增大器件工作电容面积，提高微半球陀螺仪灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带裙齿 半球 陀螺仪 谐振 结构 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南天羿领航科技有限公司，未经湖南天羿领航科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310980037.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
