[发明专利]一种顶栅结构的碳纳米管场效应晶体管及其制备方法在审
申请号: | 202310962495.5 | 申请日: | 2023-08-01 |
公开(公告)号: | CN116940130A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 吴胜利;侯振非;牛刚;李洁 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H10K10/46 | 分类号: | H10K10/46;H10K71/60;H10K71/40;H10K85/20 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 朱海临 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
本发明属于效应晶体管技术领域,涉及一种顶栅结构的碳纳米管场效应晶体管,在硅基衬底的上表面设有碳纳米管薄膜;在碳纳米管薄膜表面设置有漏极电极与源极电极;位于漏极电极与源极电极之间的碳纳米管薄膜通过刻蚀形成CNT沟道层;CNT沟道层的上表面设有介电层;介质层,位于介电层、漏极电极和源极电极上表面;介质层中部设顶栅电极;介质层与顶栅电极不接触的表面部分分散金属颗粒。在栅极两侧沟道区域形成两个载流子N |
||
搜索关键词: | 一种 结构 纳米 场效应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学,未经西安交通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202310962495.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:随动式托料折弯装置
- 下一篇:一种建筑电气工程电缆穿线牵引装置及牵引方法