[发明专利]一种单晶炉氩气回收设备

摘要

本申请涉及一种单晶炉氩气回收设备，包括依次连接的除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔和纯化塔，除尘装置包括方形罐体、过滤膜和颗粒收集机构，罐体的上部设有进气管，罐体的下部设有出气管；颗粒收集机构包括第一驱动组件、收放辊和转运膜，罐体的外部设有容纳槽体，转运膜的下表面设有胶粘层，转运膜的上表面设有离型层，转运膜的一端与容纳槽体固定连接，转运膜的另一端缠绕固定于收放辊上；第一驱动组件的驱动端与收放辊可拆卸连接，第一驱动组件用于带动收放辊沿过滤膜长度方向往复移动，收放辊沿远离容纳槽体方向移动的过程中逐步放卷转运膜。本申请具有提高氩气回收效率的效果。