[发明专利]一种单晶炉氩气回收设备

说明书

本申请涉及一种单晶炉氩气回收设备，包括依次连接的除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔和纯化塔，除尘装置包括方形罐体、过滤膜和颗粒收集机构，罐体的上部设有进气管，罐体的下部设有出气管；颗粒收集机构包括第一驱动组件、收放辊和转运膜，罐体的外部设有容纳槽体，转运膜的下表面设有胶粘层，转运膜的上表面设有离型层，转运膜的一端与容纳槽体固定连接，转运膜的另一端缠绕固定于收放辊上；第一驱动组件的驱动端与收放辊可拆卸连接，第一驱动组件用于带动收放辊沿过滤膜长度方向往复移动，收放辊沿远离容纳槽体方向移动的过程中逐步放卷转运膜。本申请具有提高氩气回收效率的效果。

技术领域

本申请涉及氩气回收的领域，尤其是涉及一种单晶炉氩气回收设备。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

在直拉法制备单晶硅过程中，为了降低硅原料中的SiO和石墨加热棒等不纯物质对单晶硅生产过程的影响获得完美的单晶硅，通常需要通过惰性气体的流动将因高温而气化的不纯杂质带出。

因此,在单晶硅生产工艺中，单晶硅炉排出的尾气中通常含有大量的氩气。

而近些年来，氩气价格不断攀升，因此降低氩气使用成本是提高企业竞争力的关键所在，并且，从改善低碳环境的角度出发，氩气的回收也是未来发展中一件意义重大的工作。

现有的单晶炉氩气回收设备包括除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔、纯化塔。其中除尘装置，用于接收单晶硅炉尾气，除去尾气中的固体杂质；冷却分离装置，与除尘装置的尾气输出口连接，用于将除尘后的尾气冷却，得到不凝气体和冷凝液；吸附装置，与冷却分离装置的不凝气体输出口连接，用于对冷凝得到的不凝气体进行吸附处理；除碳装置，与吸附装置连接，用于将吸附处理后的尾气中的碳源进行氧化；脱氧塔，与除碳装置连接，用于消耗除碳后的气体中氧气；纯化塔，与脱氧塔连接，用于除去脱氧后的气体中的二氧化碳，得到高纯氩气。

其中除尘装置包括罐体和过滤膜，过滤膜设于罐体中部，过滤膜阻挡于单晶炉尾气的移动路径上，过滤膜能够对尾气中的固体颗粒进行过滤。

但是，长时间使用后，过滤膜上的固体颗粒堆积较多，易影响过滤膜的尾气过滤量，从而降低氩气回收的效率。

发明内容

为了减少过滤膜的堵塞，以提高氩气回收效率，本申请提供一种单晶炉氩气回收设备。

本申请提供的一种单晶炉氩气回收设备，采用如下的技术方案：

一种单晶炉氩气回收设备，包括依次连接的除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔和纯化塔，所述除尘装置包括呈方形的罐体、过滤膜和颗粒收集机构，罐体的上部设有进气管，罐体的下部设有出气管，过滤膜设于罐体的中部；颗粒收集机构包括第一驱动组件、收放辊和转运膜，所述罐体的外部设有容纳槽体，容纳槽体与所述罐体内部连通，所述容纳槽体用于容纳收放辊，所述转运膜的下表面设有胶粘层，转运膜的上表面设有离型层，转运膜的一端与容纳槽体固定连接，转运膜的另一端缠绕固定于收放辊上；所述第一驱动组件的驱动端与所述收放辊可拆卸连接，所述第一驱动组件用于带动所述收放辊沿过滤膜长度方向往复移动，所述收放辊沿远离容纳槽体方向移动的过程中逐步放卷转运膜，所述收放辊沿朝向容纳槽体方向移动的过程中逐步收卷转运膜。

通过采用上述技术方案，需要对过滤膜上的积聚颗粒进行清理时，第一驱动组件启动，第一驱动组件将容纳槽体内的收放辊带出，同时逐步放卷转运膜，使得转运膜展开至过滤膜的上方，转运膜下表面的胶粘层粘住过滤膜上表面的固体颗粒，然后第一驱动组件带动转运膜和收放辊沿靠近容纳槽体方向移动，以同时将过滤膜上的固体颗粒带走，以减少过滤膜的堵塞，从而确保过滤膜的尾气过滤量。最后将转运膜和收放辊收入容纳槽体内。