[发明专利]一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统在审
| 申请号： | 202310925121.6 | 申请日： | 2023-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116695067A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 冯尔鹏;董茂进;韩仙虎;蔡宇宏;冯煜东;王小军;王毅;秦丽丽;王冠;马凤英 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730010 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及有机物蒸发镀膜技术领域，具体而言，涉及一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统，包括单体存储装置、液体流量控制装置、磁致伸缩型增压泵装置、微米级雾化装置以及蒸发源装置，其中：单体存储装置通过管路与液体流量控制装置连接；液体流量控制装置通过管路和电磁阀与磁致伸缩型增压泵装置连接；磁致伸缩型增压泵装置通过管路与微米级雾化装置连接；微米级雾化装置通过管路与蒸发源装置连接。本申请能够制备出厚度均匀可控，表面光滑平整的有机物薄膜，并且可以连续量产化蒸发镀制，结构简单，使用方便，薄膜的制备效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 有机物 微米 雾化 蒸发 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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