[发明专利]波导矩阵薄膜铌酸锂电光调制器有效
| 申请号： | 202310905916.0 | 申请日： | 2023-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN116626923B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张维佳;罗雪婷;刘婷;李佳琦;张文轩;刘体辉 | 申请（专利权）人： | 福建玻尔光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03 |
| 代理公司： | 泉州君典专利代理事务所(普通合伙) 35239 | 代理人： | 宋艳梅 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市丰泽区北峰街道*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供波导矩阵薄膜铌酸锂电光调制器，属于光电集成器件领域，包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底和多个波导层，各波导层均包括由下至上层叠的二氧化硅缓冲层、铌酸锂薄膜、至少一个光波导、行波电极、刻蚀后二氧化硅缓冲层和电磁屏蔽层，各波导层的所有光波导均对应与其位置相关的二维坐标，所有二维坐标形成波导矩阵，分别记载波导矩阵中各元素所对应的光波导的工作参数，刻蚀后二氧化硅缓冲层底面刻蚀有与行波电极匹配的凹槽，各波导层按照层叠顺序依次制备，电磁屏蔽层由碳纳米材料制成，采用缓冲质子交换技术在铌酸锂薄膜层制作光波导。本发明能够包含多个可用光波导，可调制多种光波长激光，通用性更强，集成度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 矩阵 薄膜 铌酸锂 电光 调制器 | ||
【主权项】：
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