[发明专利]一种基于微机电系统的GaN基半导体气体传感器在审
| 申请号： | 202310867321.0 | 申请日： | 2023-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN116698924A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 周清峰;梁健汉;宋志龙 | 申请（专利权）人： | 艾感科技（广东）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/14;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于微机电系统的GaN基半导体气体传感器，包括堆叠设置的如下部分：基底，包括具有腔体的衬底和配置于衬底上方的支撑层，其中，支撑层具有悬浮于腔体上方的有源区；加热层，配置于基底上方，包括与有源区至少部分重叠的加热丝；检测电极层，配置于加热层上方，其中，检测电极层具有与有源区至少部分重叠的传感区域；绝缘层，配置于加热层和检测电极层之间，具有与加热丝和传感区域至少部分重叠的有源区；感应层，配置于检测电极层上方，具有气敏材料；其中，加热丝至少部分在堆叠方向观察下包含于传感区域内并沿传感区域的间隔空间延伸，使得加热丝与传感区域各自覆盖的区域相对于彼此间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微机 系统 gan 半导体 气体 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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