[发明专利]一种基于硒化锑铋薄膜的柔性红外探测器及其制备方法在审
申请号: | 202310864323.4 | 申请日: | 2023-07-14 |
公开(公告)号: | CN116913996A | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 杨皓哲;李康华;高睿思;汤子成;王欣玥;何雯;吴青岭 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/109;H01L31/0392;H01L31/18 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 许恒恒 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明属于光电材料及光电探测器制备领域,公开了一种基于硒化锑铋薄膜的柔性红外探测器及其制备方法,该柔性红外探测器自下而上包括柔性衬底、透明导电层、N型缓冲层、P型硒化锑铋薄膜和顶电极;其中,P型硒化锑铋薄膜为铋元素掺杂的硒化锑薄膜。本发明通过铋元素掺杂得到P型硒化锑铋薄膜作为吸光层,能够灵活调控吸收带边,以满足不同的红外探测实际需求,尤其适用于1100nm‑1400nm波长的短波红外探测。并且,本发明能够在较低的温度下实现吸光层的制备,对柔性衬底非常友好。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 硒化锑铋 薄膜 柔性 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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