[发明专利]一种分段集成抽真空系统在审
| 申请号： | 202310842490.9 | 申请日： | 2023-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN116753135A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 施敏海;孙振中;徐钢;陈光奇;高建强;吴辰睿;李杰;陆晓莉;陈涛;魏裕隆;庞嘉炜 | 申请（专利权）人： | 江苏深绿新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B37/18;F04B41/06;F04B49/00;F04B49/22;F04B39/06 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 周青 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及的一种分段集成抽真空系统，它包括抽真空管道集成、真空机组集成和抽真空工位集成，所述抽真空管道集成包括若干个低真空管道、中真空管道和高真空管道中至少两种真空管道，真空机组集成包括与抽真空管道集成对应的若干个低真空机组、中真空机组和高真空机组中至少两种真空机组；所述低真空管道连接多个低真空泵，所述低真空管道通过低真空切换阀连接至工件抽空接口；所述中真空管道连接多个中真空泵，所述中真空管道通过中真空切换阀连接至工件抽空接口；所述高真空管道连接多个高真空泵，所述高真空管道通过高真空切换阀连接至工件抽空接口。本发明提高了设备利用率及生产效率，降低了能耗及运行成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分段 集成 真空 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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