[发明专利]一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202310805825.X | 申请日： | 2023-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN116930267A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 梁建汉;周清峰;万竹桉 | 申请（专利权）人： | 艾感科技（广东）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法，其中，该气体传感器包括堆叠设置的如下部分：基底，其具有隔热腔；支撑层，配置在基底上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；加热组件，配置在支撑层上，具有加热丝；介电层，配置在加热组件上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；检测电极，配置在介电层上；传感层，配置在检测电极上，沉积有气敏材料；其中，支撑层和介电层中的至少一个的聚热区具有沿堆叠方向贯通的若干通孔，且支撑层和介电层各自层内的通孔孔径以从聚热区向周侧延伸方向逐渐变化的方式配置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微机 系统 蓝宝石 气体 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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