[发明专利]一种背面线型poly结构的Topcon电池制备方法

摘要

本发明提供一种背面线型poly结构的Topcon电池制备方法，涉及Topcon电池加工技术领域。所述背面线型poly结构的Topcon电池的制备主要为在硅基低背面正金属幅栅线上镀一层线型遂穿氧化层，在遂穿氧化层上面做一层POLY，衬底与隧穿氧化层之间有高度差，高度差为0.1‑5um。隧穿层下面为化学抛光面，抛光面金子塔基的尺寸为8um‑12um，polyfinger之间的衬底为化学抛光面，抛光面金子塔基的尺寸为12‑25um。本发明克服了现有技术的不足，通过改变隧穿层及polyfinger之间的化学抛光金字塔基尺寸，降低了表面粗糙度，提高了钝化效果，有效提升了太阳能电池的转化效率。