[发明专利]反对称驱动的微机电系统谐振器有效
| 申请号： | 202310731988.8 | 申请日： | 2023-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN116470880B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;李明;谢国伟;金怡 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/05 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反对称驱动的微机电系统谐振器，包括多个呈阵列化排布的环状的谐振单元和多个电极，电极包括驱动电极和感测电极，分别用于对谐振单元进行驱动和感测，驱动电极间隙排布于相邻两谐振单元中的一个谐振单元的环内侧和另一个谐振单元的环外侧，感测电极间隙排布于相邻两谐振单元中的一个谐振单元的环外侧和另一个谐振单元的环外侧。各电极直接与基衬底固定连接且与设置于基衬底上的外接触点电性连接，省略了传统的支撑结构的设计，从而可以降低工艺复杂度，减小电极应力；而且相对于绝缘的支撑结构而言，空气或真空具有较小的介电常数，在省略支撑结构的情况下，本申请能够有效降低寄生电容。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 驱动 微机 系统 谐振器 | ||
【主权项】：
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