[发明专利]大尺寸激光晶体内在缺陷无损检测系统及方法在审
| 申请号： | 202310706471.3 | 申请日： | 2023-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN116735604A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 张志荣;钱梦雪;王华东;张庆礼;吴边 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 合肥初航知识产权代理事务所(普通合伙) 34171 | 代理人： | 谢永 |
| 地址： | 230001 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及激光晶体检测技术领域，具体涉及一种大尺寸激光晶体内在缺陷无损检测系统及方法。该系统包括：载物平台，其上方用于放置待检测激光晶体；激光发生装置，其设于载物平台的一侧且用于产生作用于待检测激光晶体的片状激光；升降装置，其用于带动载物平台或激光发生装置在高度方向上进行位移；图像采集装置，其设置于放置工位的正上方且用于采集待检测激光晶体的检测图像；缺陷检测装置，其用于对检测图像进行处理，并获取缺陷的像素坐标；以及缺陷位置获取装置，其用于基于升降装置的位移量s和缺陷的像素坐标获取缺陷的在世界坐标系的空间坐标。该方法基于上述系统实现。本发明能够较佳地实现对大尺寸激光晶体的内在缺陷的无损检测。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 激光 晶体 内在 缺陷 无损 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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