[发明专利]一种锗狭缝波导中红外石墨烯电光调制器

摘要

本发明公开了一种锗狭缝波导中红外石墨烯电光调制器，属于集成光子器件技术领域。从上至下依次为电极，双层石墨烯结构，介质层，锗狭缝波导，空气沟槽，硅衬底。两个电极分别与两层石墨烯形成欧姆接触，可调控石墨烯费米能级，从而改变石墨烯对波导中光的吸收强弱，实现光调制的功能。双层石墨烯电容器结构是由上单层石墨烯、中间硫化锌介质层和下单层石墨烯组成的“三明治”结构。悬浮锗狭缝波导可支持中红外8～12μm波段的低损耗传输。本发明实现了对中红外8～12μm大气窗口波段的光调制，并且具有高调制深度、低插入损耗和高调制带宽等优势，有望应用于中红外大气窗口波段构建高速自由空间光通信和片上光谱探测系统。