[发明专利]一种多工位金刚石衬底抛光装置及其加工方法在审
| 申请号： | 202310703069.X | 申请日： | 2023-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN116652724A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 陆静;辛永康;王嘉炜;陈凯;柯聪明 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/02;B24B47/20;B24B27/00;B24B55/00;B24B49/16;B24B7/06 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 罗萍 |
| 地址： | 362000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多工位金刚石衬底抛光装置及其加工方法，涉及精密加工技术领域，包括底座，以及配置在底座上的主轴机构和多个进给机构；主轴机构包括磨盘以及用以驱使磨盘转动的第一驱动件；进给机构包括机架、磨头、第二驱动件以及第三驱动件，第二驱动件用以驱使机架沿垂直方向移动，第三驱动件配置在机架上，用以与磨头适配连接，并可驱使磨头转动；磨头朝向磨盘的面贴有多片待加工的金刚石片；其中，各驱动件均与控制件相电连接，各进给机构沿磨盘的圆周方向阵列分布，抛光装置被构造成通过控制件驱使主轴机构和进给机构配合作业，以使各磨头上的待加工金刚石片同步在磨盘上打磨加工，从而提升加工效率，优化加工轨迹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位 金刚石 衬底 抛光 装置 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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