[发明专利]光栅光源和疵点检测装置在审
| 申请号: | 202310702961.6 | 申请日: | 2023-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN116660291A | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
| 发明(设计)人: | 于全功 | 申请(专利权)人: | 心鉴智控(深圳)科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司: | 深圳汉林汇融知识产权代理事务所(普通合伙) 44850 | 代理人: | 刘临利 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市福田*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开一种光栅光源和疵点检测装置,其中,光栅光源包括光栅片和光源组件,光栅片具有背对设置的入射面和出射面,入射面设有若干用于使光线透过的透光区;光源组件朝向入射面设置,光源组件发出的光线在若干透光区形成线光源,线光源透过透光区从出射面射出,用于照射位于出射面背离光源组件一侧的透明工件。本发明技术方案旨在提高光栅光源对透明工件中透光强度较弱的疵点检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词: | 光栅 光源 疵点 检测 装置 | ||
【主权项】:
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