[发明专利]压力干燥设备在审
| 申请号: | 202310702005.8 | 申请日: | 2023-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN116625095A | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | 周然杰;韩涛 | 申请(专利权)人: | 盛吉盛智能装备(江苏)有限公司 |
| 主分类号: | F26B15/12 | 分类号: | F26B15/12;F26B23/00;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/12 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张志华 |
| 地址: | 226300 江苏省南通市南通高新技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明属于半导体生产制造技术领域,公开了压力干燥设备。该设备用于烘干物料,具体包括输送组件、压力容器、第一驱动组件和第二驱动组件,其中,输送组件包括上料输送机构、加热输送机构和下料输送机构;上料输送机构设于压力容器的上游;加热输送机构设于压力容器内;下料输送机构设于压力容器的下游;压力容器用以加热物料;压力容器的两端分别设有平移门,平移门与第一驱动组件连接,第一驱动组件能驱动所平移门打开或关闭;第二驱动组件能驱动上料输送机构将物料传递至加热输送机构,并能继续从加热输送机构输送至下料输送机构。本发明能提升自动化程度,降低人工成本,适应自动化生产需求。 | ||
| 搜索关键词: | 压力 干燥设备 | ||
【主权项】:
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