[发明专利]压力干燥设备

说明书

本发明属于半导体生产制造技术领域，公开了压力干燥设备。该设备用于烘干物料，具体包括输送组件、压力容器、第一驱动组件和第二驱动组件，其中，输送组件包括上料输送机构、加热输送机构和下料输送机构；上料输送机构设于压力容器的上游；加热输送机构设于压力容器内；下料输送机构设于压力容器的下游；压力容器用以加热物料；压力容器的两端分别设有平移门，平移门与第一驱动组件连接，第一驱动组件能驱动所平移门打开或关闭；第二驱动组件能驱动上料输送机构将物料传递至加热输送机构，并能继续从加热输送机构输送至下料输送机构。本发明能提升自动化程度，降低人工成本，适应自动化生产需求。

技术领域

本发明涉及半导体生产制造技术领域，尤其涉及压力干燥设备。

背景技术

烘箱是将物料处于负压或者正压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。具体地，通过将箱体内抽真空，主要利用压力泵进行抽气抽湿从而加快干燥速度；通过对箱体内充气加压，对箱体内空间提供正压环境。

压力烘箱在半导体等行业有着广泛的应用。

目前，压力烘箱采用手动开关门和手动上下料的方式，自动化程度低，操作起来费人费时费力，无法适应自动化生产的需求。

发明内容

本发明的目的在于提供压力干燥设备，提升自动化程度，降低人工成本，适应自动化生产需求。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

压力干燥设备，用以烘干物料，包括：

输送组件，所述输送组件包括上料输送机构、加热输送机构和下料输送机构；

压力容器，所述上料输送机构设于所述压力容器的上游；所述加热输送机构设于所述压力容器内；所述下料输送机构设于所述所述压力容器的下游；所述压力容器用以加热物料；

第一驱动组件，所述压力容器的两端分别设有平移门，所述平移门与所述第一驱动组件连接，所述第一驱动组件能驱动所平移门打开或关闭；

第二驱动组件，能驱动所述上料输送机构将所述物料传递至加热输送机构，并能继续从所述加热输送机构输送至下料输送机构。

作为一种压力干燥设备的可选方案，所述上料输送机构包括设于第一机架上的多个并列设置的第一输送辊和第一输送辊框架，所述第一输送辊的两端与所述第一输送辊框架连接，所述第二驱动组件包括设于所述第一机架上的第一驱动件和设于其中之一的所述第一输送辊内部的第二驱动件，所述第二驱动件能驱动设有所述第二驱动件的所述第一输送辊转动，多个所述第一输送辊之间传动连接；所述第一驱动件能驱动所述第一输送辊框架沿第一方向移动。

作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第一机架上设有第一位置传感器，所述第一位置传感器用以检测所述物料相对于所述上料输送机构的位置。

作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第一机架靠近所述压力容器的一端设有接驳辊，所述接驳辊长度小于所述第一输送辊的长度，所述接驳辊能调整相对于所述第一机架的高度。

作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第一驱动组件沿第二方向设置，所述平移门设于平移座上，所述第一驱动组件能驱动所述平移座沿着所述第二方向移动。

作为一种压力干燥设备的可选方案，所述平移座底部设有导槽，所述加热输送机构设于第二机架上，所述第二机架上设有沿着所述第二方向延伸的导轨，所述平移座通过所述导槽与所述导轨滑动连接。

作为一种压力干燥设备的可选方案，所述平移门的外周设有封板，所述压力容器上设有与所述封板相配合的密封槽，当所述平移门关闭时，所述封板嵌设于所述密封槽。

作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第二机架上设有第二位置传感器，所述第二位置传感器能检测所述平移门相对于所述压力容器的位置。