[发明专利]一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法在审
| 申请号： | 202310694444.9 | 申请日： | 2023-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN116679443A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所述支撑及电连接柱电连接所述衬底，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转。本发明能够显著降低微镜的吸合电压，并可降低器件的工作电压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 活动 支撑 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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