[发明专利]一种用于芯片晶圆测试台的固定机构有效
| 申请号： | 202310687708.8 | 申请日： | 2023-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN116430087B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 庄伟东 | 申请（专利权）人： | 南京银茂微电子制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 崔建章 |
| 地址： | 211200 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片晶圆测试技术领域，具体为一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，包括凹折主板，凹折主板上方固定有补光灯具，凹折主板外部环设有静环板，补光灯具和静环板传动连接，凹折主板下方连接有内控件，内控件底端连接有支撑立柱，支撑立柱外部固定环设有多个副撑板，副撑板顶端固定在静环板上，凹折主板两端设置有定位件，两个定位件之间夹持有晶圆，本发明相较于传统技术固定机构，可以实现晶圆倾斜时的拍摄检测，且晶圆可以倾斜时转动，这样满足多角度的拍摄需求，此外为了保证晶圆在任何倾斜情况下均能得到充分的补光，补光灯具伴随晶圆同步运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 测试 固定 机构 | ||
【主权项】：
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