[发明专利]一种具有内嵌式多阶光栅的边发射激光器的制备方法在审
| 申请号： | 202310657113.8 | 申请日： | 2023-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN116387976A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 鄢静舟;柯程;薛婷;季晓明;王坤;糜东林;吴建忠 | 申请（专利权）人： | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12 |
| 代理公司： | 泉州市博一专利事务所(普通合伙) 35213 | 代理人： | 苏秋桂 |
| 地址： | 362100 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有内嵌式多阶光栅的边发射激光器的制备方法，涉及边发射激光器技术领域，包括如下步骤：在衬底上方生长外延结构，从而形成激光器本体，激光器本体沿x方向的两端面分别为背光端和出光端；在激光器本体的背光端和/或出光端内侧的非泵浦区刻蚀出若干个间隔排布的光栅槽，并根据需要在光栅槽内填充光栅材料；所述光栅材料与其周边的外延结构共同构成嵌设于激光器本体内部的多阶光栅。本发明所提供的制备方法能够将多阶光栅嵌设于边发射激光器内，并且制得的边发射激光器的波长极其稳定，具有温度漂移小，峰值功率高的优点，克服了现有内腔稳定波长方法所存在的输出功率低、制备工艺复杂且制作成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 内嵌式多阶 光栅 发射 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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