[发明专利]一种“三明治”型人工反铁电膜材料及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310644297.4 申请日: 2023-05-31
公开(公告)号: CN116801713A 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 朱汉飞;王莹;罗红钰;欧阳俊;薛银秀 申请(专利权)人: 齐鲁工业大学(山东省科学院)
主分类号: H10N97/00 分类号: H10N97/00
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 王志坤
地址: 250353 山东*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种“三明治”型人工反铁电膜材料及其制备方法。所述“三明治”型人工反铁电膜材料包括基体、底电极、缓冲层、“三明治”介电层、顶电极,基体为硅单晶基体,底电极为惰性金属电极,缓冲层为钙钛矿型氧化物,“三明治”介电层为铁电薄膜,顶电极为高电导率金属点电极。本发明提供的“三明治”型人工反铁电材料具有高耐击穿电场(≥2000kV/cm)和优异抗疲劳特性(可承受≥109次极化循环周期),而且材料体系晶化温度较低(≤500℃),利于微电子器件的集成应用。本发明可为开发新型反铁电材料体系另辟蹊径,同时能够极大拓宽反铁电材料性能调控的研究范畴。
搜索关键词: 一种 三明治 人工 反铁电膜 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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