[发明专利]一种“三明治”型人工反铁电膜材料及其制备方法在审
申请号: | 202310644297.4 | 申请日: | 2023-05-31 |
公开(公告)号: | CN116801713A | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 朱汉飞;王莹;罗红钰;欧阳俊;薛银秀 | 申请(专利权)人: | 齐鲁工业大学(山东省科学院) |
主分类号: | H10N97/00 | 分类号: | H10N97/00 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 王志坤 |
地址: | 250353 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
本发明涉及一种“三明治”型人工反铁电膜材料及其制备方法。所述“三明治”型人工反铁电膜材料包括基体、底电极、缓冲层、“三明治”介电层、顶电极,基体为硅单晶基体,底电极为惰性金属电极,缓冲层为钙钛矿型氧化物,“三明治”介电层为铁电薄膜,顶电极为高电导率金属点电极。本发明提供的“三明治”型人工反铁电材料具有高耐击穿电场(≥2000kV/cm)和优异抗疲劳特性(可承受≥10 |
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搜索关键词: | 一种 三明治 人工 反铁电膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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