[发明专利]一种石英微开关有效
| 申请号： | 202310643365.5 | 申请日： | 2023-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN116387084B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 谢晋;刘显学;张照云;杨杰 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01H35/14 | 分类号： | H01H35/14;B81B7/02 |
| 代理公司： | 成都卓跞知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51380 | 代理人： | 吴雪琴;梁菊兰 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种石英微开关，该开关包括由下至上通过键合连接的下极板、中间极板和上盖板。其中，中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层；中间基板包括中间边框、质量块和悬臂梁；中间电极层包括设置于质量块的下表面的质量块电极层。下极板包括下基板和设置于下基板的上表面的第二电极层；第二电极层包括导通电极层，导通电极层与质量块电极层相对设置。其中，下基板、上盖板和中间基板的材质均为熔石英；质量块被构造成可在惯性作用下在石英微开关内上下移动，当质量块电极层与导通电极层接触时，第一电极层和第二电极层导通。该开关热应力小、可靠性高，加工工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 开关 | ||
【主权项】：
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