[发明专利]一种石英微开关

权利要求书

1.一种石英微开关，其特征在于，包括下极板、中间极板和上盖板，所述下极板、所述中间极板和所述上盖板由下至上通过键合连接，其中，

所述中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层；所述中间基板包括中间边框、质量块和悬臂梁，所述质量块设置于所述中间边框形成的内侧通孔内，所述悬臂梁的一端连接至所述质量块，所述悬臂梁的另一端连接至所述中间边框；所述中间电极层包括电导通的中键合电极层和质量块电极层，所述中键合电极层设置于所述中间边框的下表面，所述质量块电极层设置于所述质量块的下表面；

所述下极板包括下基板和设置于所述下基板的上表面的相互电隔离的第一电极层和第二电极层；所述第一电极层包括下键合电极层，所述下键合电极层与所述中键合电极层相对设置且与所述中键合电极层接触而电导通；所述第二电极层包括导通电极层，所述导通电极层与所述质量块电极层相对设置；

其中，所述下基板、所述上盖板和所述中间基板的材质均为熔石英；所述质量块被构造成可在惯性作用下在所述石英微开关内上下移动，当所述质量块电极层与所述导通电极层接触时，所述第一电极层和所述第二电极层导通。

2.根据权利要求1所述的石英微开关，其特征在于，所述下基板的上表面设有位于其中部的第一凹部，所述上盖板的下表面设有位于其中部的第二凹部，所述第一凹部和所述第二凹部适于容纳所述质量块，所述导通电极层设置于所述第一凹部。

3.根据权利要求2所述的石英微开关，其特征在于，所述中间边框的厚度与所述质量块的厚度一致，所述悬臂梁的厚度小于所述质量块的厚度。

4.根据权利要求3所述的石英微开关，其特征在于，所述悬臂梁、所述中间边框以及所述质量块在厚度方向上的中心平面重合。

5.根据权利要求4所述的石英微开关，其特征在于，所述第一电极层还包括第一引线电极层，所述第一引线电极层的一端连接至所述下键合电极层，所述第一引线电极层的另一端延伸至所述中间边框的外侧；所述第二电极层还包括第二引线电极层，所述第二引线电极层的一端连接至所述导通电极层，所述第二引线电极层的另一端延伸至所述中间边框的外侧。

6.根据权利要求5所述的石英微开关，其特征在于，所述下基板还包括用于支撑所述第一引线电极层、所述第二引线电极层的引线延伸部，所述引线延伸部凸出于所述中间基板。

7.根据权利要求6所述的石英微开关，其特征在于，所述下基板的上表面设置引线凹部，所述引线凹部与所述第一凹部连通且延伸至所述引线延伸部；所述第二引线电极层沿所述引线凹部的壁延伸。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的石英微开关，其特征在于，所述悬臂梁为单直臂悬臂梁，所述质量块、所述质量块电极层、所述导通电极层均被构造成圆形。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的石英微开关，其特征在于，所述质量块与所述中间边框之间的间隙的深宽比大于20:1。