[发明专利]一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法

摘要

本发明公开了一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法，微纳加工误差包括深度误差、线宽误差和套刻误差。采用白光干涉仪对所有辅助检测标记点位附近的图形区台阶轮廓进行检测，获得相应位置的三维轮廓数据；利用图像处理方法得到三维轮廓数据沿台阶切面方向截线，计算出深度误差和线宽误差，然后三维轮廓数据俯视方向做投影，可得到台阶边缘线段图，计算出套刻误差。本发明是为了提高现有加工误差精度要求，提供了基于图像处理的微结构加工误差计算的方法。