[发明专利]基于飞秒激光的多色量子点阵列制备方法在审
| 申请号： | 202310638834.4 | 申请日： | 2023-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN116613251A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 陶金;孟德佳;马青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/50;H01L21/027 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于飞秒激光的多色量子点阵列制备方法，属于微纳制备技术领域。解决了现有技术中制备量子点色转换层的方法存在量子点边缘形貌难以控制，最小像素单元的尺寸有限制，易造成量子点浪费、损伤，且量子点阵列像素的均匀性和光转换效率有待提升的技术问题。本发明的制备方法，包括多个像素单元的制备，每个像素单元的制备为：利用飞秒激光在黑色光刻胶表面加工第一阵列凹槽并填充量子点胶液，并以此类推，直到在黑色光刻胶表面加工第N阵列凹槽并填充量子点胶液，且当N≥2时，第一阵列凹槽至第N阵列凹槽中，至少有一个填充量子点胶液，可以有一个或多个不填充量子点胶液。该方法对量子点无浪费和损伤，阵列稳定性高、光转换效率高、对比度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 多色 量子 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
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