[发明专利]一种超纯气体分析用富集装置

摘要

本发明公开了一种超纯气体分析用富集装置，适用于包括氦气(He)、氢气(H2)、氩气(Ar)、氮气(N2)、氧气(O2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)在内的永久性气体的高纯气体、超纯气体，包括两个六通阀，根据六通阀的接口间连接管道的切换高效地完成超纯气体的富集，并与气相色谱仪直接连接，完成杂质组分的分析与检测。本发明采用六通阀的六个阀门作为接口，在六通阀内部切换连接通道以完成吹洗、富集、采样的功能，与密封接头连接各气体管道的方式相比，更能减小气体的泄漏，提高杂质富集效果，进而增大气相色谱仪的检测浓度。本发明的第一六通阀和第二六通阀采用自动切换阀，可以实现全程自动化控制。