[发明专利]一种超纯气体分析用富集装置

说明书

本发明公开了一种超纯气体分析用富集装置，适用于包括氦气(He)、氢气(Hsubgt;2/subgt;)、氩气(Ar)、氮气(Nsubgt;2/subgt;)、氧气(Osubgt;2/subgt;)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(COsubgt;2/subgt;)、甲烷(CHsubgt;4/subgt;)在内的永久性气体的高纯气体、超纯气体，包括两个六通阀，根据六通阀的接口间连接管道的切换高效地完成超纯气体的富集，并与气相色谱仪直接连接，完成杂质组分的分析与检测。本发明采用六通阀的六个阀门作为接口，在六通阀内部切换连接通道以完成吹洗、富集、采样的功能，与密封接头连接各气体管道的方式相比，更能减小气体的泄漏，提高杂质富集效果，进而增大气相色谱仪的检测浓度。本发明的第一六通阀和第二六通阀采用自动切换阀，可以实现全程自动化控制。

技术领域

本发明涉及气相色谱仪分析检测采样技术领域，具体涉及一种超纯气体分析用富集装置。

背景技术

在氦气(He)、氢气(H₂)、氩气(Ar)、氮气(N₂)、氧气(O₂)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO₂)、甲烷(CH₄)等高纯气体(纯度大于99.999％)、超纯气体(纯度大于99.9999％)分析检测领域，目前采用常规进样的模式检测高纯气体与超纯气体内的杂质含量。气相色谱仪可以对进样气体的杂质进行色谱峰检测，但ppb(摩尔比十亿分之一)级别的杂质组分色谱峰会被气相色谱仪本身的基线噪声覆盖而难以识别。

为解决10ppb以下含量的杂质准确检测问题，目前亟需一种超纯气体分析用富集装置，能够有效提高气相色谱仪的最小检测浓度。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种超纯气体分析用富集装置，能够有效富集超纯气体中的杂质。

为实现上述发明目的，本发明的技术方案为：

一种超纯气体分析用富集装置，包括样品柱、载气装置、第一六通阀、流量计、第二六通阀和吸附解析装置。

第一六通阀包括接口a、接口b、接口c、接口d、接口e及接口f，第二六通阀包括接口g、接口h、接口i、接口j、接口k及接口l。

接口a连接样品柱，接口b连接流量计，接口c连接接口i，接口d连接外部分析装置的进样口端，接口e连接载气装置，接口f连接接口l，接口j和接口k连接吸附解析装置。

吹洗吸附解析装置时，接口a与接口b连接，接口c与接口d连接，接口e与接口f连接，接口g与接口h连接，接口i与接口j连接，接口k与接口l连接；富集时，接口a与接口f连接，接口b与接口c连接，接口d与接口e连接，第二六通阀的接口的连接关系与吹洗时相同；进样时，第一六通阀和第二六通阀的接口的连接关系与吹洗时相同。

进一步的，还包括样品回收装置；样品回收装置与流量计连接，且流量计位于第一六通阀的接口b与样品回收装置之间的气体管道上。

进一步的，还包括定量环；定量环与接口g和接口h连接；吹洗定量环时，接口a与接口b连接，接口c与接口d连接，接口e与接口f连接，接口g和接口l连接，接口h和接口i连接，接口j和接口k连接；富集时，接口a与接口f连接，接口b与接口c连接，接口d与接口e连接，第二六通阀的接口的连接关系与吹洗时相同；进样时，第一六通阀和第二六通阀的接口的连接关系与吹洗时相同。

进一步的，载气装置与第一六通阀的接口e之间的气体管道上设有减压阀。

进一步的，吸附解析装置在吹洗和进样时的温度为180℃，在富集时的温度为-10℃。

进一步的，第一六通阀和第二六通阀为自动切换阀。

有益效果：