[发明专利]一种集成电路ATE设备校准方法在审

专利信息
申请号: 202310598102.7 申请日: 2023-05-25
公开(公告)号: CN116643226A 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 马美铭;丁鹏飞;钱威成;王闯 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第五十八研究所
主分类号: G01R35/00 分类号: G01R35/00
代理公司: 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 代理人: 杨强
地址: 214000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种集成电路ATE设备校准方法,属于集成电路测试设备领域。先对校准球进行选取并进行校准球程序的生成;再使用校准球程序验证ATE设备稳定性。本发明在校准球程序生成的基础上进一步提出ATE设备校准,将校准球的使用与测试设备、测试品种、测试人员、测试数据结合起来,全面准确快速判断测试设备的稳定性和测试结果的准确性。在集成电路人工小批量测试和大批量自动化机械手测试中,本方法通过制作测试校准球,并利用校准球来进行ATE设备的校准,是对ATE设备稳定性分析的一个重要方法,可以更加全面准确快速的解决集成电路ATE设备稳定性判定的问题,避免由于ATE设备系统异常造成的生产质量问题。
搜索关键词: 一种 集成电路 ate 设备 校准 方法
【主权项】:
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