[发明专利]一种粒子射频装置在审
| 申请号： | 202310546219.0 | 申请日： | 2023-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN116798843A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 陈宗仁 | 申请（专利权）人： | 陈宗仁 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市恒和大知识产权代理有限公司 44479 | 代理人： | 姚炜达 |
| 地址： | 广东省深圳市福*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及射频电离领域，并提供了一种粒子射频装置，包括柜体，设置在所述柜体内的真空发生腔，在所述发生腔一侧设置有两个射频发生器，在所述发生腔的侧壁上相对设置有两个电极共振板，所述电极共振板之间适于放置待处理物体，各所述射频发生器分别馈入相隔一定频率的第一射频源和第二射频源至两个所述电极共振板之间，以电离所述发生腔内的气体产生等离子体且入射待处理物体的表面，本发明能够控制入射到待处理物体表面的等离子体的轨迹和密度，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粒子 射频 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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