[发明专利]差分有源微波微流传感器在审
| 申请号： | 202310536938.4 | 申请日： | 2023-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN116660327A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 赵文生;付建红 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于微波传感技术领域，具体涉及差分有源微波微流传感器。差分有源微波微流传感器包括顶层金属层、中间介质层和底层金属层；顶层金属层包括微带线结构和有源放大电路；底层金属层包括金属薄片和刻槽金属SLSP结构；刻槽金属SLSP结构是一个螺旋环结构，是由两个阿基米德螺旋线构成的平面图案；该区域放置由聚二甲基硅氧烷(PDMS)加工制作而成的微流控芯片并在芯片内的注射液体，通过矢量网络分析仪(VNA)测量传感器S参数曲线。本发明提供的传感器具有极高的灵敏度和Q值，从而保证了测量的准确度，因此很适用于测量介电常数。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 微波 流传 | ||
【主权项】：
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