[发明专利]基于多孔结构和微结构的柔性电容式压力传感器及方法在审

专利信息
申请号: 202310525933.1 申请日: 2023-05-11
公开(公告)号: CN116380301A 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 李迎春;李欣樾;刘彦楠;常晶晶;白建斌;康乐海;林宸旭 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G01L1/14 分类号: G01L1/14
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 王晶
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 基于多孔结构和微结构的柔性电容式压力传感器及方法,包括上下两个平行电极,两个平行电极之间设有多孔结构泡沫层,在多孔结构泡沫层的上下表面化学合成导电聚合物,再附加带有微结构弹性体层,上下平行电极采用导电胶带或导电薄膜,分别直接延伸用作与外接设备相连接的引线。该方法采用气相氧化聚合的方式将导电聚合物沉积在泡沫材料中;将弹性体材料涂于微结构化的模板上,得到微结构弹性体层,将聚合好的多孔结构泡沫层轻置于其上,粘附后进行加热固化,重复此步骤制备双面微结构;将导电胶带或导电薄膜置于上下两侧作为上下平行电极,并直接延伸用作与外界设备相连的引线,使用防水透气胶带进行封装。本发明具有高灵敏度、稳定性好的特点。
搜索关键词: 基于 多孔 结构 微结构 柔性 电容 压力传感器 方法
【主权项】:
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