[发明专利]光斑自动跟焦装置及其方法在审
| 申请号： | 202310513844.5 | 申请日： | 2023-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN116233606A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 张良;匡翠方;杨臻垚;丁晨良;樊吴申;孙秋媛;刘旭;周国尊 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | H04N23/67 | 分类号： | H04N23/67;G01B7/02;H04N23/55;G02B7/28 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 董晓盈 |
| 地址： | 311121 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光斑自动跟焦装置及其方法。该光斑自动跟焦装置包括光源、光学系统、物镜、物镜压电位移器、四象限光电探测器及控制系统，光源发出的入射光束经由光学系统和物镜通过入射光路入射到样品表面，其中，四象限光电探测器用于接收经样品表面反射并经由物镜和光学系统通过反射光路出射的反射光束，并将反射光束的光信号转换为四路电信号；控制系统用于基于四路电信号来确定入射到样品表面的入射光斑的离焦量，并基于入射光斑的离焦量来生成补偿控制信号给物镜压电位移器；物镜压电位移器用于基于补偿控制信号来控制物镜沿轴向移动以使入射光斑能够始终聚焦于样品表面。本申请能够自动控制物镜轴向运动以达到自动跟焦目标。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 自动 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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