[发明专利]一种电解液固定型电化学机械抛光方法、装置与设备

摘要

本发明公开了一种电解液固定型电化学机械抛光方法、装置与设备，所述电解液固定型电化学机械抛光装置包括抛光头，所述抛光头由微纳米多孔材料制成，所述抛光头包括若干磨粒，所述磨粒通过结合剂固结，所述抛光头分布有若干空孔。在抛光过程中，电解液能够在微纳米多孔材料抛光头的微纳米孔内驻留，而不会溢流，因此可以实现对电解液的控制。当工件表面与抛光头相接触时，工件表面也与抛光头内部驻留的电解液产生局部接触，在电场的作用下，工件表面与电解液接触的区域发生电化学反应，实现局部阳极氧化改性，同时通过抛光头与工件的相对运动，利用磨粒实现对改性层的去除。