[发明专利]一种蒸镀点源材料回收盒在审
| 申请号： | 202310484270.3 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN116445863A | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 严明会;李玉峰 | 申请（专利权）人： | 普诺逊真空科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京麦汇智云知识产权代理有限公司 11754 | 代理人： | 王凤艳 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出了一种蒸镀点源材料回收盒，涉及蒸镀技术领域。包括蒸镀设备以及点源，蒸镀设备内为蒸镀腔室；蒸镀设备且位于蒸镀腔室内设有基板，基板位于点源的喷射口上方；还包括底部开口的材料回收盒，材料回收盒设于蒸镀设备且位于蒸镀腔室内，材料回收盒罩设于点源上方，材料回收盒顶部设有蒸镀口，基板位于蒸镀口上方。采用本发明，其可以遮蔽在点源上，只暴露出蒸镀口位置。一方面，可以很大程度降低了薄膜材料成本，特别是对比较昂贵的薄膜材料，成本控制相当可观。另一方面，避免了在蒸镀工艺过程中点源和点源之间薄膜材料的交叉污染，从而能沉积性能更好的薄膜。再者，避免了热量损失，同时节省了二次蒸发的热量消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀点源 材料 回收 | ||
【主权项】：
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