[发明专利]一种氮磷共掺杂直立石墨烯及其制备方法、应用在审

专利信息
申请号: 202310482061.5 申请日: 2023-04-28
公开(公告)号: CN116477609A 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 沈永龙;张公开;武智恒;邵国胜 申请(专利权)人: 郑州大学
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186;C01B32/194;C25B1/04;C25B11/04;H01M8/18;H01M4/96;H01M4/90;H01M12/08;H01M10/0525;H01M4/587;H01M4/62;H01G11/86;H01G11/32;H01G11/44
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 李宁
地址: 450001 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种氮磷共掺杂直立石墨烯及其制备方法、应用,属于石墨烯制备技术领域。本发明的氮磷共掺杂直立石墨烯的制备方法,包括以下步骤:通过高通量等离子体增强化学气相沉积在衬底上沉积直立石墨烯;在沉积直立石墨烯时,同步通入气态氮源作为反应气体,并同步在等离子束流中放置单质磷源。本发明的氮磷共掺杂直立石墨烯的制备方法,利用高通量等离子体增强化学气相沉积技术,在沉积直立石墨烯的过程中引入固态单质磷源和气态氮源,在高密度等离子体作用下通过一步法制备得到氮磷共掺直立石墨烯,避免多步法繁琐过程。
搜索关键词: 一种 氮磷共 掺杂 直立 石墨 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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