[发明专利]一种多晶金刚石红外光学材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202310476508.8 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN116555906A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 王跃忠;杨国健;杨国永;江南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波杭州湾新材料研究院 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/04;G02B1/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种多晶金刚石红外光学材料的制备方法，包括对单晶硅进行超声清洗、打磨；采用MPCVD设备，将CH |
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| 搜索关键词： | 一种 多晶 金刚石 红外 光学材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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