[发明专利]一种成像椭偏仪测量系统及系统参数校准方法在审
| 申请号： | 202310453952.8 | 申请日： | 2023-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN116754492A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 陈修国;钟海硕;张传维;刘世元 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 夏倩;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种成像椭偏仪测量系统及系统参数校准方法，属于光学仪器测量领域，包括：样品台，用于放置样品；入射光生成模块，用于生成工作波长范围内的平行的入射光；起偏模块，用于调制入射光的偏振态；第一会聚透镜，用于将偏振入射光聚焦于放置于样品，产生反射光；第二会聚透镜，用于将反射光转换为平行光；检偏模块，用于调制平行光的偏振态；光束调整模块，用于将偏振平行光转换为第一出射光束和第二出射光束；图像信息探测模块，用于将第一出射光束调节为单色光后对样品进行成像。本发明能够加快成像椭偏仪系统参数校准的速度，使成像椭偏仪同时具有高横向分辨率的能力和快速校准的能力，从而提高成像椭偏仪整体的测量速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 成像 椭偏仪 测量 系统 参数 校准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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