[发明专利]一种内置式氦气杂质吸附装置及吸附方法在审
| 申请号： | 202310450273.5 | 申请日： | 2023-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN116550087A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 匡大志;艾鑫;陈旭恒;石磊;李俊杰;沈东;孟秋敏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;B01D53/02;B01D46/00;C01B23/00 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 张景云 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种内置式氦气杂质吸附装置，过滤单元位于密封腔内，过滤单元的出口与排气口连通，在密封腔内固有到导流件，氦气经进气口进入密封腔，经导流件均匀分散在过滤单元的周围，自过滤单元的进口进入，从过滤单元出口排出；密封腔内空隙填充有过滤介质；过滤单元包括多个串联的过滤器，按照氦气流向，首个过滤器与密封腔进气口相对的一端为氦气进口，末端过滤器朝向密封腔的排气口设置氦气出口；其余串联节点均位于过滤器的相邻侧。本发明通过在外筒内布设过滤单元，同时在间隙填充过滤介质，达到先通过间隙对氦气进行一次过滤吸附，再通过过滤单元二次过滤吸附，提高吸附效率和精度。在同等过滤路径的情况下，本发明结构更紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内置 氦气 杂质 吸附 装置 方法 | ||
【主权项】：
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