[发明专利]一种热点定位辅助装置及方法在审
| 申请号： | 202310443831.5 | 申请日： | 2023-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN116482851A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 朱明兰;田浩然;罗俊一 | 申请（专利权）人： | 上海积塔半导体有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/36 | 分类号： | G02B21/36;G02B21/18;G02B21/00;G01R31/28;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G01N21/01;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黄贞君;赵然 |
| 地址： | 201208 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种热点定位辅助装置及方法，应用于芯片检测技术领域，其中，包括：载台、第一镜头、第二镜头和处理单元；第一镜头和第二镜头，第一镜头设置于载台的正面一侧，第二镜头设置于载台的背面一侧，载台用于承载待测试芯片，第一镜头用于采集所述待测试芯片的正面成像信息，以及所述第二镜头用于采集所述待测试芯片的热点成像信息；处理单元，用于将热点成像信息叠加于正面成像信息以生成目标图像，以及对目标图像处理后获取热点的位置信息。本申请中可在芯片不做破坏性处理的前提下定位到缺陷位置，提高芯片缺陷定位的精准度和成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热点 定位 辅助 装置 方法 | ||
【主权项】：
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