[发明专利]一种热点定位辅助装置及方法

权利要求书

1.一种热点定位装置，其特征在于，包括：载台、第一镜头、第二镜头和处理单元；

第一镜头和第二镜头，所述第一镜头设置于载台的正面一侧，所述第二镜头设置于载台的背面一侧，所述第一镜头和所述第二镜头之间的相对位置固定设置；

所述载台用于承载待测试芯片，以及带动芯片在平面内移动，以使所述待测试芯片位于所述第一镜头和第二镜头的视野中；

所述第一镜头用于采集所述待测试芯片的正面成像信息，以及所述第二镜头用于采集所述待测试芯片的热点成像信息；

处理单元，用于将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息以生成目标图像，以及对目标图像处理后获取热点的位置信息。

2.根据权利要求1所述的热点定位装置，其特征在于，所述热点定位装置还包括若干校准片，所述校准片上设置有若干校准图形，所述校准片上的校准图形用于所述第一镜头和所述第二镜头对视野中的同一个物像进行成像前的校准。

3.根据权利要求2所述的热点定位辅助装置，其特征在于，所述处理单元还用于针对第一镜头和第二镜头的视野中每个像素点均设置对应坐标点，并基于第一镜头对视野中的校准片采集校准图形的第一坐标结果，以及第二镜头对视野中的同一个校准片采集校准图形的第二坐标结果，将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息以生成目标图像：

如果第一坐标结果中的坐标与第二坐标结果中的坐标重合，则将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息；

如果第一坐标结果中的坐标与第二坐标结果中的坐标不重合，则将坐标差异数据记录为位移补偿量，并按所述位移补偿量将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息上的对应坐标位置。

4.根据权利要求2所述的热点定位辅助装置，其特征在于，所述校准图形的大小对应于所述第一镜头的倍率；

和/或，所述校准片的厚度对应于所述待测试芯片的厚度；

和/或，所述校准片固定设置于所述载台上。

5.根据权利要求1所述的热点定位辅助装置，其特征在于，所述第一镜头包括第一高倍率镜头和第一低倍率镜头，所述第二镜头包括第二高倍率镜头和第二低倍率镜头，第一高倍率镜头的倍率与第二高倍率镜头的倍率相同，第一低倍率镜头的倍率与第二低倍率镜头的倍率相同；

和/或，所述第一镜头为光学镜头或红外镜头，所述第二镜头为设置有InGaAs探测器的红外镜头。

6.根据权利要求1所述的热点定位辅助装置，其特征在于，所述载台中用于承载待测试芯片的位置设置有玻璃载片，所述玻璃载片用于承载待测试芯片。

7.根据权利要求1所述的热点定位辅助装置，其特征在于，所述热点定位装置还包括电源系统，所述电源系统用于为待测试芯片施加测试电压。

8.一种热点定位方法，其特征在于，包括：

通过第一镜头采集待测试芯片的第一正面成像信息，以及通过第二镜头采集所述待测试芯片的第一热点成像信息；其中，待测试芯片放置于载台上，并由载台移动到第一镜头和第二镜头的视野中，第一镜头设置于载台的正面一侧，第二镜头设置于载台的背面一侧；

将所述第一热点成像信息叠加于所述第一正面成像信息以生成目标图像；

对目标图像处理后获取热点的位置信息。

9.根据权利要求8所述的热点定位方法，其特征在于，在第一镜头和第二镜头进行采集前，所述热点定位方法还包括：

将校准片移动至第一镜头和第二镜头的视野中，其中校准片上设置有若干校准图形，第一镜头的倍率和第二镜头的倍率相同；

分别调节第一镜头和第二镜头的焦距，使得第一镜头采集到清晰的校准图形对应的正面图像，第二镜头采集到清晰的校准图形对应的背面图像；

将第一镜头和第二镜头视野中的每一个像素点设置对应坐标点，判断分别位于所述正面图像和所述背面图像中的校准图形的坐标是否重合，若坐标不重合，则将坐标差异数据作为位移补偿量，所述位移补偿量用于在将所述第一热点成像信息叠加于所述第一正面成像信息时进行位移补偿。