[发明专利]一种硅基底中波红外带空气间隙的棱镜PBS分束膜在审
| 申请号： | 202310435455.5 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116300117A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈佳佳;李全民;王劲 | 申请（专利权）人： | 南京波长光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B27/12;C23C14/26;C23C14/30;C23C14/54;C23C14/10;C23C14/16 |
| 代理公司： | 南京正律知识产权代理事务所(普通合伙) 32744 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211121 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基底中波红外带空气间隙的棱镜PBS分束膜，其结构为：S/aLbHcLdHeLfHgLhHiA/S，其中，S代表Si基底、A代表空气间隙、H代表Ge、L代表SiO；a‑i代表第一层到第八层的四分之一参考波长光学厚度的系数。本发明提供一种硅基底中波红外带空气间隙的棱镜PBS分束膜，采用无胶胶合的方法，避免了胶体对通光孔径内光学指标的影响；耐水性好，膜层持久、稳定，透射率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基底 中波 外带 空气 间隙 棱镜 pbs 分束膜 | ||
【主权项】：
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