[发明专利]一种动态高等离子体电子密度产生装置在审
| 申请号： | 202310434502.4 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116390319A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 雷凡;薛妍;张朝阳;吴红志 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 西安鼎迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61263 | 代理人： | 李振瑞 |
| 地址： | 710000*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种动态高等离子体电子密度产生装置，包括：等离子体放电腔体、放电系统、稳态磁场发生器、真空系统和冷却系统，等离子体放电腔体上壁以及中空结构放电线圈连接冷却系统，下壁通往腔室连接真空系统，稳态磁场发生器放置于等离子体放电腔体外侧周围。本申请提出的一种动态高等离子体电子密度产生装置，动态波形发生器通过射频电源向中空结构放电线圈施加高压调幅信号，流经线圈的电流会在腔体内部产生交变磁场，在稳态磁场发生器的作用下感应产生更加强烈的射频电场，此射频电场会进一步击穿气体，随后激发产生高电子密度等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 等离子体 电子密度 产生 装置 | ||
【主权项】：
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