[发明专利]一种动态高等离子体电子密度产生装置

权利要求书

1.一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，包括：

等离子体放电腔体、放电系统、稳态磁场发生器、真空系统和冷却系统，所述等离子体放电腔体上壁以及中空结构放电线圈连接所述冷却系统，下壁通往腔室连接所述真空系统，所述稳态磁场发生器放置于所述等离子体放电腔体外侧周围；

所述等离子体放电腔体采用中空圆柱筒状结构，侧壁上设置有石英管，所述石英管用于隔绝所述等离子体放电腔体与外界环境，所述石英管外侧设置有中空结构放电线圈，所述中空结构放电线圈用于实现射频电源与所述等离子体放电腔体内部的耦合；

所述放电系统包括：电极接口、匹配网络、射频电源和动态波形发生器；

所述稳态磁场发生器用于产生外加恒定稳态磁场；

所述真空系统用于调整所述等离子体放电腔体内部的气压和气体组分；

所述冷却系统用于冷却所述等离子体放电腔体以及所述中空结构放电线圈。

2.根据权利要求1所述的一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，所述中空结构放电线圈一端连接所述电极接口，另一端接地。

3.根据权利要求1所述的一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，所述等离子体放电腔体采用防电磁辐射材料。

4.根据权利要求1所述的一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，所述电极接口依次连接所述匹配网络和所述射频电源，所述射频电源输入端连接所述动态波形发生器，所述动态波形发生器用于产生所述等离子体放电腔体需要的波形信号，所述射频电源用于根据所述波形信号输出高压调幅信号，并通过所述匹配网络和所述电极接口施加给所述中空结构放电线圈，所述匹配网络用于对动态等离子体负载进行实时匹配。

5.根据权利要求1所述的一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，所述射频电源输出的放电频率为440kHz。

6.根据权利要求1所述的一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，所述真空系统包括：抽气口、进气口、真空测量规、气瓶、针阀、抽气阀门、机械泵；

所述真空测量规用于测量所述等离子体放电腔体的真空度，所述气瓶用于存储工作气体，所述针阀用于控制所述工作气体进入所述等离子体放电腔体的速度，所述抽气阀门用于控制抽出所述等离子体放电腔体中多余的气体，所述机械泵用于提供所述抽气阀门抽气时所需的抽气压力。

7.根据权利要求6所述的一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，所述工作气体为空气。

8.根据权利要求1所述的一种动态高等离子体电子密度产生装置，其特征在于，所述电极接口处、所述等离子体放电腔体与所述真空系统的连接处、所述等离子体放电腔体以及所述中空结构放电线圈与所述冷却系统的连接处均设置有法兰，用于进行密封连接。