[发明专利]一种表征薄膜太阳能电池激光清边效果的方法在审
| 申请号： | 202310428662.8 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116435208A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 仁烁光能（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 王园园 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明所提出的一种表征薄膜太阳能电池激光清边效果的方法，包括：在玻璃基板的一侧设置光源模块，照射清边区域；在玻璃基板的另一侧设置光强接收传感器；检测照射清边区域光的透过率；所述光源模块包括光源、光学定位相机模块、光强测量传感器、反射镜、聚集镜和伺服电机模块。该方法通过测量光的透过率，进而科学有效地表征清边效果，避免不合格产品流入后面工序，并通过平均透过率和单点透过率两个指标表征清边效果，是一种科学有效的质量控制表征方式，通过对光源和光强接收传感器同步设置，保证了测量精度和准确性，该方法科学合理，可实现在线检测，且检测速度快，检测效果佳，是很好的检测和评价、表征薄膜太阳能电池激光清边效果的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表征 薄膜 太阳能电池 激光 效果 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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