[发明专利]一种压电式微流体装置和其制作方法、及集成芯片在审
| 申请号： | 202310427550.0 | 申请日： | 2023-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN116586126A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 陈诚 | 申请（专利权）人： | 武汉敏捷微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 湖北百炼石律师事务所 42281 | 代理人： | 吴阳 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区佛祖岭街流芳大道5*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电式微流体装置和其制作方法、及集成芯片，上述的压电式微流体装置包括：衬底、和依次设于衬底上表面的第一电极、压电层、第二电极及电镀金属层；衬底设有第一镂空结构，第一电极与第一镂空结构构建形成第一空腔和流道；电镀金属层设有第二镂空结构，第二电极与第二镂空结构构建形成第二空腔和喷嘴；第二电极和第一电极均用于与电源连接，第一空腔和第二空腔用于储存液体；第一电极、压电层和第二电极形成压电式谐振器，在通电情况下，谐振器发生振动，以使液体能够经由喷嘴喷出。该压电式微流体装置极大地提升微流体装置的小型化、集成度、制造精度和效率，以及能够实现产品的规模化生产，并具有较低的制造成本，并且具有较好的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 式微 流体 装置 制作方法 集成 芯片 | ||
【主权项】：
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