[发明专利]使用氢和多种类聚焦离子束的粒子诱导X射线发射(PIXE)在审
申请号: | 202310417743.8 | 申请日: | 2023-04-18 |
公开(公告)号: | CN116953001A | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | D·托通吉安;A·P·J·M·波特曼;M·托斯 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G01N23/2202 | 分类号: | G01N23/2202;H01J37/26;G01N23/2251;G01N23/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 周全 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明描述了在聚焦离子束装置上或包括聚焦离子束和扫描显微术能力两者的双束装置上的粒子诱导X射线发射(PIXE)的实际具体实施。因此,分析方法包括:将包括质子和非氢离子的混合物的离子引导到样本上,其中该混合物的离子的动能不大于50千电子伏特(keV);以及检测和测量响应于该质子和该非氢离子撞击到该样本上而从该样本发射的X射线。 | ||
搜索关键词: | 使用 多种 类聚 离子束 粒子 诱导 射线 发射 pixe | ||
【主权项】:
暂无信息
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