[发明专利]行波管用收集极复合结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202310416276.7 | 申请日： | 2023-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN116364503A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘泳良;缪国兴;吕薇;唐康淞;刘林;马方;高察;李芬;马晶晶;翟德慧;刘新爱 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | H01J9/14 | 分类号： | H01J9/14;H01J9/18;H01J23/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种行波管用收集极复合结构及其制备方法，涉及真空电子器件技术领域。该方法包括：采用化学气相沉积方法制备高导热氮化硼材料的绝缘筒，二次加工多余部位；在绝缘筒内壁，采用化学气相沉积方法制备热解石墨材料的收集极电极，实现收集极电极与绝缘筒的连接，二次加工多余部位；采用化学气相沉积方法制备热解石墨材料的电极尾盖，二次加工多余部位。该方法制备的收集极，采用气相沉积的高纯高致密热解氮化硼和热解石墨，具有极低的放气率，真空特性高，提高行波管的可靠性；采用薄壁氮化硼与石墨，重量减轻超过80％，实现轻量化和小型化，高热导率且厚度薄，大幅降低热阻，降低收集极工作温度，可以承受1000W以上的耗散功率。 | ||
| 搜索关键词： | 行波 管用 收集 复合 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院空天信息创新研究院，未经中国科学院空天信息创新研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310416276.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种气浮承片装置及晶片研磨设备
- 下一篇：一种稳压的金属粉末液压机
