[发明专利]一种F-P滤光器腔长检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 202310400552.0 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN116399562A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 马琳;金振宇;朱槿;常亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院云南天文台 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 林浩书 |
| 地址： | 650000 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： |
本发明属于光学领域，具体涉及本发明公开了一种F‑P滤光器腔长检测系统及检测方法，F‑P滤光器由滤光器光机组件和滤光器控制器组成，检测腔长时放置在检测系统中，其中检测系统包括光源系统、成像系统和控制及数据采集处理系统，光源系统包括两台稳频激光器、分束器和扩束透镜组；成像系统包括成像透镜组和探测器；控制及数据采集处理系统包括滤光器控制器和中央数据处理单元，滤光器光机组件放置在光源系统和成像系统中间，通过控制及数据采集处理系统改变滤光器腔长，得到滤光器强度调制曲线，计算控制器步长和滤光器腔长。本发明的控制器步长检测精度为1e‑7μm，滤光器腔长检测精度为9e‑4μm，对应的波长漂移量为 |
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| 搜索关键词： | 一种 滤光 器腔长 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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