[发明专利]一种单晶炉热场降氧保温装置有效
| 申请号： | 202310400021.1 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN116121848B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;张鹏;李林东;吴超慧;陈志军;许堃;李安君;邢立勋;毛亮亮 | 申请（专利权）人： | 苏州晨晖智能设备有限公司;云南宇泽半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 唐灵 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉的技术领域，特别是涉及一种单晶炉热场降氧保温装置，在使用过程中，可对中保温筒下半部分与坩埚之间形成的氩气流通通道进行调节，从而适应更多工况，降低含氧量；包括：固定座，呈环形，中部设置供坩埚穿过的通孔，固定座与炉体内壁连接，固定座沿径向开设若干导向孔；若干调节板，相邻调节板滑动连接，调节板端部设置有固定轴，固定轴一端穿过导向孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉热场降氧 保温 装置 | ||
【主权项】：
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